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切割硅片导轮轮廓测量仪
  • 产品型号:CV-1000
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2017-10-26
  • 访  问  量:3897
简要描述:

数字检出型轮廓形状测定机 CV-1000N2/2000M4 特长: ■ 由于将X轴、Z轴加以数字化,所以不必*仰赖于测定倍 率的大小,即可做到大范围的高分解能测定。 ■ 与计算机连接并加上计算机解析软件「Formpak-1000」,即可做出各式各样的测定与分析。 ■ 若不连接计算机,亦可连接XY绘图机,并可在绘图机的数据处理机上先行确认图形或量测方式是否正确

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产品详情

 

日本三丰轮廓测量仪CV-1000  CV-2000
简单介绍
◆数字检出型轮廓形状测定机 CV-1000N2/2000M4 特长:■由于将X轴、Z轴加以数字化,所以不必*仰赖于测定倍率的大小,即可做到大范围的高分解能测定。■与计算机连接并加上计算机解析软件「Formpak-1000」,即可做出各式各样的测定与分析。■若不连接计算机,亦可连接XY绘图机,并可在绘图机的数据处理机上先行确认图形或量测方式是否正确。
技术参数

X轴
测量范围
50mm(CV-1000)或100mm()CV-2000
分辨率
0.2μm
测量方法
反射型光栅尺
驱动速度
0.2mm/s
测量速度
0.02-5mm/s
测量方向
/向后
直线度
3.5μm /50mm
1.5μm/mm(当X轴在水平方向上
指示精度
(20℃)
±(3.5+2L/100)μm
L为驱动长度(mm)
倾斜范围
±45°(CV-2000)
Z1轴
测量范围
25mm(CV-100)或40mm(CV-2000)
分辨率
0.4μm(CV-1000系列)
0.5μm(CV-2000系列)
测量方法
弧形编码器
指示精度
(20℃)
±(3.5+14H/25)μm)
H为水平位置上的测量高度(mm)
探针上下运作
弧形运动
探针方向
向下
测力
10-30mN
跟踪角度
向上
77°
向下
87°
探针针尖
半径
25μm
材料
硬质合金针尖
基座尺寸(H)
750x600mm(CV-2000)
基座材料
花岗岩(CV-2000)
重量
主机
5kg(CV-10000N2)、115.8kg(CV-2000M4)、124kg(CV-2000S4)
控制装置
14kg 
遥控箱
0.9kg
电源
100-240VAC±10% 50/60Hz
能耗
150W仅限主机

性能参数

型号
CV-1000N2
CV-2000N4
CV-2000S4
X1轴测量范围
50mm
100mm
100mm
Z1轴测量范围
25mm
40mm
40mm
Z2轴测量范围
-
250mm
320mm

 

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