| X轴 | 测量范围 | 50mm（CV-1000）或100mm（）CV-2000 |
| 分辨率 | 0.2μm |
| 测量方法 | 反射型光栅尺 |
| 驱动速度 | 0.2mm/s |
| 测量速度 | 0.02-5mm/s |
| 测量方向 | /向后 |
| 直线度 | 3.5μm /50mm 1.5μm/mm（当X轴在水平方向上 |
| 指示精度 （20℃） | ±（3.5+2L/100）μm L为驱动长度（mm） |
| 倾斜范围 | ±45°（CV-2000） |
| Z1轴 | 测量范围 | 25mm（CV-100）或40mm（CV-2000） |
| 分辨率 | 0.4μm（CV-1000系列） 0.5μm（CV-2000系列） |
| 测量方法 | 弧形编码器 |
| 指示精度 （20℃） | ±（3.5+14H/25）μm） H为水平位置上的测量高度（mm） |
| 探针上下运作 | 弧形运动 |
| 探针方向 | 向下 |
| 测力 | 10-30mN |
| 跟踪角度 | 向上 | 77° |
| 向下 | 87° |
| 探针针尖 | 半径 | 25μm |
| 材料 | 硬质合金针尖 |
| 基座尺寸（H） | 750x600mm（CV-2000） |
| 基座材料 | 花岗岩（CV-2000） |
| 重量 | 主机 | 5kg（CV-10000N2）、115.8kg（CV-2000M4）、124kg（CV-2000S4） |
| 控制装置 | 14kg |
| 遥控箱 | 0.9kg |
| 电源 | 100-240VAC±10% 50/60Hz |
| 能耗 | 150W仅限主机 |
